成。”
套刻精度测试也是光刻机极为重要的一项测试。
不过其测试并非孤立，更像是机器启用前的一整套初始误差建模与补偿模型组建。
相当于将整个曝光场的一整套序列曝光，提前检测出实际的误差，这些测试的误差数据会由计算机计算后生成第一版标准误差补偿参数环境。
与炮弹实际发射的“修正本”有着异曲同工之妙。
只是这项工作可不是当天便能完成的，需要四五天的时间，众人接力轮流完成。
“沈工！没问题！”
…
“吴姐还有克勤同志，咱们趁着这几天抓抓紧，将最后的版图验证完成。”
“争取在这台步进式光刻机测试完成后，开启第一次的流片工作。”
到了集成电路，虽然工艺思路上还是‘平面工艺’那套，但实际的工艺和流程会复杂太多。
晶体管那时还无需“流片”，而到了集成电路这块，流片算是整个集成电路成不成功的决定性标志。
尤其是越大规模的集成，“流片”的难度也会以指数级上升！
…
五天后，国庆的庆典在首都刚过。
今年沈永健同样受到了邀请，只是因为流片的掩膜版工作原因，最终是放弃了出席。
好在首都微电子厂还有张厂长作为代表前去出席，同时厂里的二代电视机也再次成为献礼产品。
一连三年，微电子厂已然成为献礼专业户。
当然，今年国庆献礼之中最亮眼的并非是电视机或者冰箱这种家用电器，而是国内重工业的又一项突破，红旗轿车！
报纸和新闻眼下的话题也全在这款自主生产的汽车上。
只是外界的一些纷纷扰扰，此刻都没法打扰沈永健的工作思绪。
今日的保密研制车间内。
那台银色的庞大机器还在由数人连班接力，日夜不停进行测试。
其中套刻精度测试已经在今早完成。
这会儿上午八点多，研发处的同志因昨日收到通知，已早早再度聚在此处。
当照明均匀性测试的最后一组数据在示波器上定格时，屋外沈永健也带着周克勤等人踏入。
卓邵文才将数据记录，目光便立刻望向他，干裂的嘴唇动了动，带着振奋的沙哑声线在车间内响起。
“畸变率0.12%，场曲误差±0.18微米…”
“
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