台光刻机核心部分已搭建完成，具备了进行光刻实验的基础能力！
曹文三和曲崇瞪大了眼睛，他二人当下也松了口气。
事实上，这次设备的制造他二人只是打打下手，更多的就是学习而已。
此刻看着那在紫光灯下显现的细微光斑，虽然不甚理解其全部意义，但卓邵文的激动和沈永健脸上那抹终于舒展的、带着成就感的笑意，让他们明白，这应当是件了不起的大事。
经过反复确认使用效果，目前精度暂时勉强够用。
沈永健长舒了口气，连日紧绷的神经稍缓，拍了拍一旁卓邵文的肩膀。
“邵文同志，辛苦了！这第一步，咱们算是迈出去了！”
“后续等真正的硅晶圆制成后，还有场硬仗要打。”
卓邵文用力点头，眼镜片后的目光依旧紧紧盯着那光斑，心中的激动难以言喻。
要知道这可是光刻机，哪怕在沈永健眼中这机子还算不上真正的一代自制光刻机，但在卓邵文的视角下，这就是真正的第一代。
“沈工，硅晶圆制成还得多久？”
…
“应该也就这几天吧？硅单晶炉轧钢厂那边零件都已经打造好，这两天正在组装调试，我一会儿就过去。”
“不过正式研制也得是年后了，你在厂里的工作暂时就到这里，余下时间你自己安排就行。”
这种具体的科研工作进行起来，时间总是过得飞快。
眼下日子已经步入二月，距离过年也就四五天的时间。
沈永健等硅单晶炉制成后，也准备给自己歇个几天。
“沈工…我有个请求。”
…
“绍文同志，你有事直说就行，不用这么客气。”
将近一周的时间接触下来，卓邵文的性子他如今是越来越熟悉。
的确是那种让人省心的同志，尤其是作为团队的队员，眼里全是活，且许多事都不需要他提，对方主动便替他考虑到，帮他完成了。
对科研的态度也无比严肃和认真。
唯独一点，就是对他的态度过于严肃和敬重，有种将他当做老师一般对待。
他其实更想与对方像同事或者朋友一般相处。
“我能利用这几天…写一篇您这自制的这‘光刻机’论文么？”
“您放心，这文章署名还是沈工您的…”
不等卓邵文说完，沈永健便已应下。
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