两步法。”
钱学明用手指着表上的两行数据，开口道：“先是干氧氧化，温度九百五十度，时间四十分钟，生成约六十埃的致密氧化层。”
“然后切换湿氧，温度降到九百度，四十五分钟，再长六十埃。”
“两步切换的目的是在保证氧化层致密度的同时控制界面态密度，最终漏电流可以做到每平方微米十的负十二次方安培以下。”
吴专家在旁边飞快地记了几笔。
过后，他和孙教授交换了一个目光，两人都微微点了一下头。
这些关键的工艺参数回去之后足够消化好几天。
另一边，会议桌正中的张停端起茶杯喝了一口，润了润嗓子，目光转向林默，打开话匣子。
“林默同志，我还听说你们目前还在集中攻克一个自研雷达项目PD雷达，脉冲多普勒体制的，对吧？”
“是的，部长。”林默点点头，对于部长知道PD雷达的事情，他并不感觉奇怪。
“这项技术可不简单。”
“据我所知部里所属的四五家研究所也都在同步推进类似的课题，但进展都不太理想，你这边走到哪一步了？”
林默坐直了身体。
“部长，PD雷达项目从今年四月份正式立项，目前已经完成了系统方案设计和关键技术节点的仿真验证。”
“我们采用的方案是全相参脉冲多普勒体制，S波段，发射功率大于五十千瓦。”
“信号处理部分用MTD滤波器组加多脉冲重复频率波形设计，配合我们正在进行的DSP芯片流片。”
“目标是实现自动搜索，目标检测，跟踪和威胁评估的一体化处理。”
张停听了，有些惊讶地挑了挑眉：
“这么看来，你们在雷达信号处理这块的进展相当快，需要部里提供哪些方面的支持？你尽管提。”
闻言，林默露出笑容，也不客气，直接道：“部长，我们在几个关键的元器件上卡了壳，高功率砷化镓功放管，低噪声前端放大模块，还有高频合成信号源用的YIG振荡器。”
“这些东西国内能供货的渠道很少，很多要靠进口，此外还有一些做雷达天线罩的特种复合材料，国内没有现成的供应商，需要部里帮忙协调一下军工系统的材料所。”
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