mity（薄膜沉积均匀度）±3%、CMPPlanarizationRange（平坦化参数范围）50-100nm。
苏诚看不太懂这些专业术语，但每个术语旁边都被孟哲用红色字体做了详细标注。
光刻分辨率那一栏旁边写着：“90nm节点对应193nm波长光源，需配合相位移掩模技术，此参数与台积电2004年公开的90nm工艺窗口吻合度极高。”
刻蚀深度比旁边写着：“1:15的深宽比在2006年属于第一梯队水平，国内中芯国际当前只能做到1:8左右。”
他越往下翻，嘴角的笑意越深。
这份评估的精细程度说明孟哲看完资料后是认真的。
还有就是孟哲的专业。
看来自己没找错人！
不是随便扫了两眼敷衍几句客气话，而是一个参数一个参数地核对、比对、标注。
每一行红字都透着一个被冷落了多年的技术人员的专业和谨慎。
这个人做过功课。
苏诚把地址发过去，关掉邮件页面，重新打开深圳工业用地的搜索页面。
坪山那个地块旁边又有几个新挂牌的，有一个面积更大，将近三十万平方米，也就是是450亩地大小，价格每平米不到两百八。
还是有些小啊。
一个中型芯片场，要700亩地左右。
万一以后扩大规模，需要更大的地块。
苏诚想要直接搞个1500亩地左右大小的地块，一步步做大。
他正打算再看看的时候，走廊里响起了脚步声。
厚重的军工靴踩在水磨石地面上，每一步都带响，节奏不快，但沉稳有力。
那脚步声苏诚从小听到大。
父亲走路不像那些发了财的煤老板拖泥带水，当兵二十年养成的习惯，迈步的时候脚掌先落地再过渡到脚尖，每一步都踩得扎扎实实，像在走队列。
脚步声到门口停了大概三秒，然后响起了敲门声。
“诚子。”
苏卫国的声音隔着门板传进来，低沉，但中气足。
苏诚抬头：“爸，什么事？”
苏卫国推门进来，站在门口。
他穿着一件深灰色的短袖衬衫，领口敞着两颗扣子，露出脖子上那道颜色发暗的旧疤。
那是八几年在部队执行任务时留下的。
他的头发被风吹得有些乱
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