上是破晓A3X光源系统的剖面示意图。
「破晓A3X搭载的是第二代MDP—EUV光源技术，采用双脉冲CO2预电离方案，主雷射功率提升至40千瓦，转换效率达到6.2%，较上一代A220提升了将近一倍。」
闻言，阿斯麦CE0彼得微微吸了口气。
6.2%的转换效率？
意味著光源在相同功耗下能输出更强的EUV辐射，而更高的光子通量直接决定了曝光速度和产能。
这个数据，已经无限逼近了理论天花板。
「此外，Collector镜组的使用寿命从上一代的300亿脉冲，延长至550亿脉冲，可以保证整机在两年的满负荷运转期间，不需要更换主反射镜。」
梁劲松语气平稳地说道。
但这句话背后的潜台词，许多从业人员都听得出来。
Collector镜组是EUV光刻机维护成本的大头，每次更换都意味著停机、重新校准，以及数百万美元的物料费用。
延长近一倍的寿命，等于帮晶圆厂省下了一大笔运营开支。
魏家哲转头，与身旁的湾积电技术副总交换了一个眼神。
这破晓A3X买定了！
湾积电目前是除了星源科技外的最大晶圆代工厂，每年数百亿美币的业务，都离不开先进的光刻机产线。
购买，还有活路；
不买，死路一条！
格罗方德、英特尔和联电代表，也迅速理清了思绪。
虽然由于星源科技和天工科技的存在，他们的订单和利润大幅下滑，但若是不买破晓A3X，怕是要不了几年，自家就彻底没了业务。
近几年来，随著天工科技的推动，移动处理器晶片，基本都用上了7纳米工艺，次一级也得10纳米。
不买破晓A3X光刻机，就相当于主动放弃未来的市场和客户。
只是这价格，不知道星源科技会定在多少？
破晓A220的发售价是5000万美币，后来不降反升，一路涨到了8000万美币，算上各种维护成本，单台光刻机的总花费，起码也要1.1亿美币。
众人脸上的表情各异，都有著自己的小心思。
而华科协会代表所在的区域，以胡锐晖为首的几人却满脸笑意。
他们也没想到，这才几年功夫，华国在半导体领域
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